ASML德国工厂遭遇火灾 EUV光刻机生产或受影响

全球半导体产能紧张持续一年了，芯片扩产需要包括光刻机在内的重要设备，结果前几天全球最大光刻机巨头ASML在德国的工厂遭遇火灾，官方表示还要几天才能评估损失，但是现在可以确定主要是EUV光刻机生产会受影响。

ASML旗下的这家公司位于德国柏林，前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收购了这家公司，它们的营收额并不高，但生产的是光刻机中的一种重要部件，可以用于光刻机及晶圆之间的接口，需要有纳米级别的操作精度，可以说是小而精了。

根据ASML的消息，虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早，但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产，DUV光刻机不受影响。

EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备，ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商，每台售价1亿欧元，将近10亿人民币，去年交付了35台EUV光刻机，今年计划交付55台EUV光刻机，三星、台积电及Intel是主要的客户。