阿斯麦ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货匹配套准精度至1.1纳米-科普信息网

《科创板日报》记者从ASML获悉，其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格，这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1纳米，并计划于2021年的中期开始发货。(记者戚夜云)

标签： EUV光刻机

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阿斯麦ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货匹配套准精度至1.1纳米

发布时间：2020-10-15 16:16:32 来源：科创板日报责任编辑：caobo

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阿斯麦ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货 匹配套准精度至1.1纳米

发布时间：2020-10-15 16:16:32 来源：科创板日报 责任编辑：caobo

阿斯麦ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货匹配套准精度至1.1纳米

发布时间：2020-10-15 16:16:32 来源：科创板日报责任编辑：caobo